泳池臭氧發生器消毒時臭氧一般有兩種臭氧制備方法：紫外線輻射法和電暈放電法。
紫外線消毒器用于較小的水量，適用于按摩池等小型游泳池。相對比較簡單和經濟，但濃度較低，不超過0.1%;一般僅為幾克/小時，效率較低。電暈放電法臭氧發生器的效率較高、臭氧濃度及產量也大，大型泳池應采用此類臭氧發生器。
紫外線泳池臭氧發生器
大多數安裝在居民區小型游泳池和浴池的臭氧發生器用紫外線燈產生臭氧。紫外線是波長在100-380nm之間的電磁波，滅菌波段主要介于200-280nm之間，尤其波長253.7nm的紫外線滅菌能力最強當紫外線照射到微生物時，便發生能量的傳遞和積累，積累結果造成微生物的滅活，從而達到消毒的目的。
當足夠的紫外線能量加給氧分子，氧分子就分裂為兩個自由的單原子，這些單原子與其它氧分子碰撞產生臭氧分子。每個臭氧發生器的產率由以下幾個因素而定：紫外線的能量和波長，紫外線燈周圍的空間，溫度，濕度，以及空氣中的氧氣含量和通過發生器的空氣流的體積。如果一個給定系統的結構保持相對穩定，影響臭氧濃度的主要因素是空氣流速。
電暈放電法泳池臭氧發生器
干燥的氧氣或空氣通過放電間隙，在高能電磁場下，氧氣被電離成氧原子，氧原子與氧分子碰撞形成臭氧。其產率與氧的濃度、氣體干燥度、電源頻率、介電材料的厚度、介電常數等有直接聯系。臭氧的發生效率與氣體的干燥度成正比,與氣體中的氧濃度成正比(臭氧產率在氧濃度為92%時最高),與電源頻率成正比,與放電間隙成反比,與介電層厚度成反比。
泳池臭氧發生器是目前應用最廣泛、相對能耗較低、單機臭氧產量最大、市場占有率 最高的臭氧發生裝置。電暈放電法產生臭氧的裝置基礎是高壓電極、地電極、介電體與放電間隙四部分，高濃度的臭氧發生裝置還要同時配備冷卻、氣源預處理等技術。
